“到如今，我们已经成功研发出可媲美国际高端光栅的第三代纳米时栅，精度水平已达国际领先水平。”4月26日上午，在重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心，时栅团队核心成员于治成指着展览室里摆放着的直线时栅和圆时栅两大系列新品向记者介绍。

▲第三代纳米时栅产品。学校供图

制造业决定了一个国家的综合实力和国际竞争力，高水平的精密测量技术和精密仪器制造能力，是发展高端制造业的必备条件。在精密加工、计量检测等领域，精密位移传感器是不可或缺的重要组成部分，被称为“精密之眼”，它的性能直接决定了加工制造环节的精度。然而，精密位移测量器件作为核心功能部件，长期被国外巨头们严格战略性封锁，进口传感器存在价格高、货期长、售后难的问题，我国精密位移测量领域亟待摆脱受制于人的局面。

“关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的，必须依靠自主创新。”重庆理工大学时栅团队从1996年提出“时栅传感器”理念起，历经了第一代机械式时栅、第二代磁场式时栅再到第三代电场式时栅(即“纳米时栅”)自主研发道路。

在此历程中，研发团队日复一日地进行了成千上万次的实验，持续攻克了“提高测量精度与增加测量范围的矛盾”“精度提高导致的误差溯源困难”“突破光学衍射极限改善分辨力”等技术难题，逐步实现了从毫米到微米再到纳米精度的跨越。

▲重庆理工大学时栅团队人员在实验室进行科研工作。学校供图

如何让纳米时栅技术走出实验室，实现产业化？2021年4月，时栅团队推动成果转化，与中国通用技术集团合作成立国测时栅科技有限公司，标志着纳米时栅成果正式开启转化应用、服务市场用户的新阶段。

据介绍，目前，纳米时栅技术已推出直线时栅和圆时栅两大系列新品，广泛应用于高档数控机床、集成电路装备、精密检测仪器等领域，以“中国精度”逐步填补国内高端精密位移测量领域空白。其中，直线时栅产品最高精度可达±2.5微米（1微米等于0.001毫米），圆时栅产品最高测量精度可达±1角秒（1角秒等于1/3600度）。与国外同性能产品相比，更具明显价格优势，平均可为客户节约20%-30%的使用成本。

为推动科技成果高效转化，近年来，重庆理工大学构建“专利创新链、制度保障链、转化服务链”深度融合的“三链聚合”模式，实现了我国精密位移测量器件既“测得准”又“造得出”，学校专利转化合同金额连续多年位列全国高校50强。